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METHOD FOR ANNEALING SOLVENT, METHOD FOR FORMING BLOCK COPOLYMER PATTERN USING SAME, AND BLOCK COPOLYMER PATTERN FORMED THEREBY

机译：溶剂退火方法，使用相同方法形成嵌段共聚物图案的方法以及由此形成的嵌段共聚物图案

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摘要

In a method for forming block copolymer pattern, provided is a method for forming block copolymer pattern, comprising: a step for contacting an annealing pad where an organic solvent is absorbed in a block copolymer applied to a substrate; and a step for which the block copolymer is self-assembled by the organic solvent discharged from the annealing pad.;COPYRIGHT KIPO 2014

机译：在形成嵌段共聚物图案的方法中，提供了一种形成嵌段共聚物图案的方法，该方法包括：使退火垫接触步骤，在退火垫上，有机溶剂被吸收在施加到基板上的嵌段共聚物中; COPYRIGHT KIPO 2014;以及通过从退火垫中排出的有机溶剂使嵌段共聚物自组装的步骤。; COPYRIGHT KIPO 2014

著录项

公开/公告号KR101449850B1

专利类型
公开/公告日2014-10-13

原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;
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申请/专利号KR20130056998
发明设计人 JUNG YEON SIKKR;HUR YOON HYUNGKR;JEONG JAE WONKR;KIM JONG MINKR;
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申请日2013-05-21
分类号H01L21/20;B29C59;H01L21/22;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:39:58

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