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How to provide a magnetic confinement and inductively coupled plasma system and the magnetic confinement and Faraday shielded Faraday shield

机译：如何提供磁禁和电感耦合等离子体系统以及磁禁和法拉第屏蔽法拉第屏蔽

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公开/公告号JP2014527685A5

专利类型
公开/公告日2015-05-14

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申请/专利权人
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申请/专利号JP2014520297
发明设计人
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申请日0000-00-00
分类号H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205;C23C16/507;H01L21/265;H01L21/22;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:35:26

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