公开/公告号US9097683B2
专利类型
公开/公告日2015-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201414507758
申请日2014-10-06
分类号H01S3/13;G01N21/88;H01S3/11;H01S3/10;H01S5;G02F1/37;H01S3;C30B29/10;C03B33/02;G01N21/94;G01N21/95;G02F1/35;G02F1/355;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:18:00