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Drawing apparatus, data processing method, and method of manufacturing article that transform partially overlapping regions using different transformation rules

机译:使用不同的变换规则来变换部分重叠区域的绘图设备,数据处理方法和制造方法

摘要

A drawing apparatus performs drawing on a first partial region and a second partial region. The first and second partial regions having an overlap region in which the first and second partial regions overlap each other. The apparatus includes a transformation device configured to transform first pattern data for the first partial region into first quantized pattern data in accordance with a first transformation rule, and to transform second pattern data for the second partial region into second quantized pattern data in accordance with a second transformation rule different from the first transformation rule, and a controller configured to control the drawing on the first partial region based on the first quantized pattern data, and to control the drawing on the second partial region based on the second quantized pattern data.
机译:绘图设备在第一局部区域和第二局部区域上进行绘图。第一和第二部分区域具有重叠区域,其中第一和第二部分区域彼此重叠。该设备包括变换装置,该变换装置被配置为根据第一变换规则将用于第一局部区域的第一图案数据变换为第一量化图案数据,并且根据变换单元将用于第二局部区域的第二图案数据变换为第二量化图案数据。与第一变换规则不同的第二变换规则,以及控制器,其被配置为基于第一量化图案数据来控制在第一局部区域上的绘制,并且基于第二量化图案数据来控制在第二局部区域上的绘制。

著录项

  • 公开/公告号US9001387B2

    专利类型

  • 公开/公告日2015-04-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CANON KABUSHIKI KAISHA;

    申请/专利号US201313921278

  • 申请日2013-06-19

  • 分类号H03K5/08;G11B23/38;H01L23/00;G03F7/20;H01L21/00;H01J37/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:16:58

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