公开/公告号JP2016044115A
专利类型
公开/公告日2016-04-04
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP20140172272
申请日2014-08-27
分类号C30B29/36;C30B25/20;C23C16/42;H01L21/205;H01L29/12;H01L29/78;H01L21/336;H01L29/47;H01L29/872;H01L21/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:43:56