公开/公告号JP5937297B2
专利类型
公开/公告日2016-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 キヤノンアネルバ株式会社;
申请/专利号JP20100253647
申请日2010-11-12
分类号H01L21/336;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;C23C14/06;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/8247;H01L27/115;H01L27/105;H01L29/423;H01L29/49;H01L45/00;H01L49/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:42:35