公开/公告号US9268227B2
专利类型
公开/公告日2016-02-23
原文格式PDF
申请/专利权人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号US201514728441
申请日2015-06-02
分类号H01L33/56;G03F7/075;C09J183/04;C08L83/04;C08G77/00;G03F7/40;C08G77/12;C08G77/20;H01L23/29;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:29:52