公开/公告号US9412620B2
专利类型
公开/公告日2016-08-09
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES U.S. 2 LLC;
申请/专利号US201514597327
申请日2015-01-15
分类号H01L21/77;H01L21/322;H01L21/02;H01L21/683;H01L21/762;H01L23/00;H01L25/065;H01L25/00;H01L29/06;C23C16/40;C23C16/513;C23C16/56;H01L21/18;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:28:38