公开/公告号US9714473B2
专利类型
公开/公告日2017-07-25
原文格式PDF
申请/专利权人 MICROFABRICA INC.;
申请/专利号US201414191061
申请日2014-02-26
分类号C25D5/02;C25D5/10;C25D5/48;B33Y10/00;B81C1/00;B81C99/00;C25D1/00;C25D21/12;H01L21/288;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:44:56