公开/公告号ES2624637T3
专利类型
公开/公告日2017-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH;
申请/专利号ES20080009979T
发明设计人 VOSS TORSTEN;SCHULZE JÖRG;KIRBS ANDREAS;SÖNMEZ AYLIN;BRUNNER HEIKO;FRÖSE BERND;ENGELHARDT ULRIKE;
申请日2008-05-30
分类号H01L31/032;C07C335/16;C25D3/38;C25D3/58;H01L31/06;
国家 ES
入库时间 2022-08-21 13:35:13