公开/公告号US2018233374A1
专利类型
公开/公告日2018-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORPORATION;
申请/专利号US201815873108
发明设计人 RYO TAJIMA;MASAHIRO HATAKEYAMA;KENICHI SUEMATSU;KIWAMU TSUKAMOTO;KENJI WATANABE;SHOJI YOSHIKAWA;SHINICHI OKADA;KENJI TERAO;
申请日2018-01-17
分类号H01L21/3065;H01J37/302;H01J37/305;H01J37/147;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:00:15