公开/公告号US2018308686A1
专利类型
公开/公告日2018-10-25
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP HOLDING B.V.;
申请/专利号US201816018692
发明设计人 QI XIE;DAVID DE ROEST;JACOB WOODRUFF;MICHAEL EUGENE GIVENS;JAN WILLEM MAES;TIMOTHEE BLANQUART;
申请日2018-06-26
分类号H01L21/02;H01L29/417;H01L29/36;H01L21/265;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:59:40