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机译:MEMS / MOEMS传感器设计
公开/公告号EP2663842B1
专利类型
公开/公告日2019-03-13
原文格式PDF
申请/专利权人 INPUTIVE CORPORATION;
申请/专利号EP20120734282
发明设计人 BONNAT PIERRE;
申请日2012-01-11
分类号G01F1/68;G01P5/04;G01P13/00;G01L7/02;B81B7/00;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:31:38
机译: MEMS / MOEMS传感器设计