公开/公告号US10444639B2
专利类型
公开/公告日2019-10-15
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201715843371
发明设计人 ONUR NIHAT DEMIRER;WILLIAM PIERSON;MARK D. SMITH;JEREMY S. NABETH;MIGUEL GARCIA-MEDINA;LIPKONG YAP;
申请日2017-12-15
分类号G03F7/20;H01L21/027;G03F9;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:16:44