公开/公告号EP3149329B1
专利类型
公开/公告日2020-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;
申请/专利号EP20150732082
申请日2015-05-28
分类号F04B9/02;F04B19/04;F04B23/04;F04B43/02;F04B49/10;F04B49/22;F04B51;F04B53/10;F04B53/16;H01L21/67;F04B17/03;F04B43/04;F04B13;F16H25/20;F04B53/20;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:41:01