公开/公告号US10490630B2
专利类型
公开/公告日2019-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201715812313
申请日2017-11-14
分类号H01L29/06;H01L21/225;H01L21/324;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/167;H01L29/423;H01L29/66;H01L29/78;B82Y10;H01L29/775;H01L29/49;H01L29/51;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:26:43