公开/公告号US2020173911A1
专利类型
公开/公告日2020-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 NIKON CORPORATION;
申请/专利号US202016781474
申请日2020-02-04
分类号G01N21/21;H01L27/146;G06T15;G01N21/31;A61B1/06;A61B1;G06T7/521;A61B1/04;G01J3/51;G01J3/28;G01N21/25;G01J3/02;G01J4/04;G01J4;G01J3;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:20:04