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INTERFEROMETER ELEMENT, SPECTROMETER AND METHOD FOR OPERATING AN INTERFEROMETER

机译:干涉仪元件,光谱仪和操作干涉仪的方法

摘要

The invention relates to an interferometer element (125) for use in a spectrometer (100), wherein: the interferometer element (125) has a micro-mechanical Fabry-Perot filter element (FPI1, FPI2), which has at least one first mirror element (135), a second mirror element (140) and a third mirror element (145) arranged in series on a light path (120) of the interferometer element (125); and a first distance (160) between the first (135) and the second (140) mirror element, and/or a second distance (165) between the second (140) and the third (145) mirror element can be modified.
机译:本发明涉及一种用于光谱仪(100)的干涉仪元件(125),其中:干涉仪元件(125)具有微机械法布里-珀罗滤波器元件(FPI1,FPI2),其具有至少一个第一反射镜元件(135),第二反射镜元件(140)和第三反射镜元件(145)串联布置在干涉仪元件(125)的光路(120)上;可以修改第一镜面元件(135)与第二镜面元件(140)之间的第一距离(160),和/或第二镜面元件(140)与第三镜面元件(145)之间的第二距离(165)。

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