公开/公告号EP0795200A4
专利类型
公开/公告日1997.11.12
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申请/专利权人 FORMFACTOR, INC.;
申请/专利号EP95939966
发明设计人 KHANDROS, IGOR, Y.;MATHIEU, GAETAN, L.;ELDRIDGE, BENJAMIN, N.;GRUBE, GARY, W.;DOZIER, THOMAS, H.;
申请日1995.11.13
分类号H01L21/60;H01L21/58;H05H1/18;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 10:54:43