平行平板分光的1∶1折反射式光学系统

摘要

本发明是一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，含有两大部分——照明部分和成象部分。成象部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明部分含有均匀照明器、分前后两组聚光镜，中心遮栏的孔径光阑或视场光阑和掩模板。本发明主要用于精密图形照相复制，特别是用于投影光刻机上。具有数值孔径大、分辨率高、能够充发利用系统的视场的优点。