宽度方向位置对应关系判定方法及利用其的制造装置

摘要

对于各品牌的装置逐一进行操作端与测定点的位置对应关系的测定与切换相当费事，且于作业中位置对应关系若偏离，则必须于测定阶跃响应(step response)后再次测定位置对应关系，此于质量管理上会产生问题。将操作端的操作量输入处理模型，修正处理模型的位置对应关系、干涉宽度与工艺过程增益，使此处理模型与测定轮廓的偏差成为最小。另外，使此位置对应关系设定于输出操作量的宽度方向控制器。因为操作中能够逐次将位置对应关系修正为最佳值，即使位置对应关系偏离，也不会使控制性变差，并且，消除了对逐个品牌的装置进行位置对应关系的测定与切换的麻烦。