阵列测试装置、测量其基板的点位置的方法以及测量由照相机组件拍摄的点坐标的方法

摘要

公开了阵列测试装置、阵列测试装置的基板上点位置的测量方法以及用照相机组件拍摄的点坐标的测量方法。该阵列测试装置具有支撑待测试基板的测试部分。至少一个调制头部设置成与测试部分邻近以检测测试部分上设置的基板的缺陷部分。调制头部具有固定块。照相机组件联接到固定块，在该固定块上以预定间隔设置基准照相机以及至少一个相邻照相机。坐标测量调制组块可拆卸地联接到照相机组件和基板间的固定块。坐标测量调制组块具有与构成照相机组件的照相机的焦距对应设置位置指示部件。在位置指示部件上形成将由基准照相机拍摄的基准位置标记以及将由相邻照相机拍摄的至少一个邻近位置标记。