法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 29/02 授权公告日:20120725 终止日期:20140926 申请日:20100926
专利权的终止
2012-07-25
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/02 申请日:20100926
实质审查的生效
2011-02-09
公开
公开
机译: 在基板载体上带有叉指式转换器的声表面波纳米阵列及其制造工艺
机译: 修正表面波装置的方法,特别是用于反射式阵列压缩机的方法
机译: 修正表面波装置的方法,特别是用于反射式阵列压缩机的方法