公开/公告号CN101939816B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 松下电器产业株式会社;
申请/专利号CN200980104686.6
发明设计人 高浪保夫;
申请日2009-02-06
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人卢亚静
地址 日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:10:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-18
授权
授权
2011-03-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20090206
实质审查的生效
2011-01-05
公开
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机译: 向微芯片供应试剂的方法,微芯片以及向微芯片供应设备的设备
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