法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/06 授权公告日:20120627 终止日期:20121022 申请日:20101022
专利权的终止
2012-06-27
授权
授权
2011-05-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20101022
实质审查的生效
2011-04-06
公开
公开
机译: 用于铜金属化的氮化钽扩散阻挡层的制造方法
机译: 原子层沉积的氮化钽和α相钽作为阻挡层用于铜金属化
机译: 原子层沉积的氮化钽和α相钽作为阻挡层用于铜金属化