模块化的CVD反应器子系统、其配置方法和独立功能模块

摘要

本发明提供一种改进的CVD反应器子系统，其包括模块化的反应器外罩和功能模块。模块化的反应器外罩可容纳市售的冷壁CVD反应室，功能模块可被设置在反应器外罩上以使反应室具备执行CVD处理所必需的功能。优选的功能模块包括用于向CVD反应室提供热量的模块以及用于测量CVD反应室内部状况的模块。本发明还提供用于配置这种CVD反应器子系统的方法，特别是配置子系统使其最优地执行特定的CVD处理的方法，以及用于执行这种配置的配套元件。有利地，本发明允许单一CVD反应器子系统被重新配置和重新设置，使其可以最优地执行几种不同的CVD处理。