涡流测量中的频率选择方法以及淬火深度测量方法

摘要

本发明的课题是提供一种涡流测量中的频率选择方法，可以降低或排除测量精度的温度依赖性，并且适当且容易地选择用于涡流测量的交流励磁信号的不同的两种频率的组合。通过励磁线圈(111)对测量对象物(102)施加不同的三种以上频率的交流励磁信号以使感应电流产生，并通过检测线圈(121)来检测对应于各频率的检测信号，基于对应于各频率的检测信号来计算出对应于各频率的交流励磁信号和检测信号的相位差，在对应于各频率的交流励磁信号和检测信号的相位差之中抽取相位差之差处于规定范围的两种频率的组合，通过将该组合中的两种频率之中较低一方的频率设为第一频率并且将较高一方的频率设为第二频率来选择两种频率的组合。