基于暴露材料的渐进腐蚀的湿度传感器

摘要

本发明提供了一种感测例如湿度之类的环境特征的传感器。所述传感器具有带有条带的衬底，所述条带由对因所述特征导致的腐蚀敏感的材料制成。所述条带被配置为对所述特征进行不同的响应。通过重复测量所述条带的电阻，可以在对所述特征的累积暴露方面监控所述环境。所述条带以半导体技术制造，从而产生行为可预测的精确传感器。