法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-20
授权
授权
2011-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 22/34 申请日:20100621
实质审查的生效
2010-11-24
公开
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机译: 非晶态复合氧化物膜,结晶态复合氧化物膜,非晶态复合氧化物膜的制备工艺,晶态复合氧化物膜的制造工艺,以及复合氧化物烧结体
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