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扫描单元和带有该扫描单元的光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置的扫描单元和带有该扫描单元的位置测量装置,其中探测装置(6)对电磁干扰场进行了屏蔽。屏蔽是用盖板(15)的一层透明的导电涂层来实现的。盖板(15)覆盖基体(20)的凹槽(21),带探测装置(6)的透明载体(5)放置在该基体中。探测装置(6)布置在载体(5)的底面,而载体(5)则用其顶面固定在盖板(15)上。

著录项

  • 公开/公告号CN101435694B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-07-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200810174466.8

  • 发明设计人 G·施奈德;

    申请日2008-11-07

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人赵辛

  • 地址 德国特劳恩罗伊特

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-07-18

    授权

    授权

  • 2010-08-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20081107

    实质审查的生效

  • 2009-05-20

    公开

    公开

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