一种圆柱型等离子体谐振腔

摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的圆柱型等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体两端设置截止波导，在圆柱型谐振腔壳体周向开设有一波导入口，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体两端的截止波导为活动端盖结构，所述的活动端盖结构截止波导开设有中间通孔，内端面设置凸起的圆台，与圆柱型谐振腔相配置。本发明通过拆换截止波导可使谐振腔与不同直径的玻璃衬管相匹配，使波导装置更好地与谐振腔负载匹配，提高耦合效果，以适应加工过程中负载的变化，减少能量损耗，从而提高了圆柱型等离子体谐振腔的加工适应范围；本发明结构简单，易于加工制造；沉积均匀；沉积附着效果好，提高了PCVD工艺的加工精度和效率。