在大气压力下产生等离子体并供应所述等离子体的装置

摘要

本发明提供一种用于在大气压力下产生等离子体并供应所述等离子体的装置，该装置包括：壳体，气体导入所述壳体内；以及等离子体发生单元，所述等离子体发生单元包括设置在所述壳体内的上电极、以及设置在所述上电极之下的网状的下电极，其中，所述下电极通过使线形条交叉并使所述线形条之间具有规则的间隙而形成。根据本发明的网状下电极较容易制造。所述网状下电极使得可以调节等离子体所经过的开口的尺寸，从而在基板上均匀地提供等离子体。另外，使得微粒和残余气体不能附到所述基板的表面或附到所述装置的内部。