一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计

摘要

本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。本发明通过其敏感方向上分布的用来调节弹性系数的电调谐变面积电容调节弹性系数，使同批次加速度器件性能趋于一致，甚至等于0，从而获得高灵敏度的MEMS加速度计。