适用于制造电子元件的超净的含氟弹性体

摘要

一种用于制备全氟弹性体的可固化的含氟弹性体组合物。该组合物包括：(1)具有一个或多个固化部位的全氟聚合物，所述固化部位选自能参与过氧化物固化反应的卤素和/或腈基；(2)有机过氧化物和/或能通过所述腈基进行所述全氟聚合物固化的化合物；以及(3)任选的多不饱和的活性助剂。所述组合物中的全氟聚合物基本上不含离子端基，并且所述组合物中金属阳离子的总量不超过10μg/g全氟聚合物。所述全氟弹性体可通过以足够少的金属阳离子的量固化所述组合物来得到，从而制造适用于半导体工业的含氟弹性体。