公开/公告号CN101777481B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-27
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯技术公司;
申请/专利号CN200910266872.1
申请日2004-06-14
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人陈江雄
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:10:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/147 授权公告日:20120627 终止日期:20140614 申请日:20040614
专利权的终止
2012-06-27
授权
授权
2010-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/147 申请日:20040614
实质审查的生效
2010-07-14
公开
公开
机译: 离子注入系统的磁性/作为静电混合系统的混合偏转系统
机译: 离子注入系统/静电型混合偏转系统的磁性
机译: 束偏转方法,用于扫描的束偏转器,离子注入方法和离子注入系统