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用于对离子束进行磁性扫描和校正的系统

摘要

一种磁性扫描器,采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件,用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。

著录项

  • 公开/公告号CN101558469B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-06-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;

    申请/专利号CN200780034611.6

  • 申请日2007-09-13

  • 分类号H01J37/317(20060101);H01J37/147(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人王波波

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-06-13

    授权

    授权

  • 2009-12-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-10-14

    公开

    公开

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