公开/公告号CN101558469B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-13
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN200780034611.6
申请日2007-09-13
分类号H01J37/317(20060101);H01J37/147(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:09:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-13
授权
授权
2009-12-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-14
公开
公开
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 磁性扫描和离子束校正系统
机译: 磁性扫描和离子束校正系统