法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-05
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C07C 323/52 变更前: 变更后: 申请日:20050308
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-05-09
授权
授权
2012-05-09
授权
授权
2010-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 323/52 申请日:20050308
实质审查的生效
2010-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 323/52 申请日:20050308
实质审查的生效
2010-09-08
公开
公开
2010-09-08
公开
公开
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机译: 抗蚀剂材料,抗蚀剂组合物,图案的制造方法以及抗蚀剂聚合物用原料化合物
机译: 适用于形成具有良好光刻技术的抗蚀剂图案的光致抗蚀剂组合物的基本成分的聚合物化合物的制造方法,抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案的形成方法
机译: 具有主链构成环烯烃化合物的聚合物的光致抗蚀剂聚合物,其制备方法,包含该聚合物的光致抗蚀剂组合物以及使用该组合物的光致抗蚀剂图案的形成方法