双模态超声波电机姿态调节与微行程纳米定位控制装置

摘要

本发明公开了一种双模态超声波电机姿态调节与微行程纳米定位控制装置，包括有超声波电机、上底座、下底和两个压电陶瓷；上底座与超声波电机固定连接，与超声波电机两侧的两个压电陶瓷上端转动连接；下底座与超声波电机两侧的两个压电陶瓷下端固定连接；压电陶瓷的伸缩方向与超声波电机驱动头轴向方向一致；各压电陶瓷分别外接电压并独立控制。本发明能调节双模态超声波电机驱动头与工作台驱动面的接触角度和预紧力大小，改善了工作台大行程驱动范围内的驱动特性，并提供了微行程驱动和纳米定位控制功能，大大了降低双模态超声波电机在大行程纳米定位驱动控制中的应用难度。