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可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置

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一种衬底处理装置包括：至少一个加工腔室，其处理一衬底；一可移动转移腔室，其可邻近加工腔室进行移动；一驱动构件，其移动可移动转移腔室；和一连接构件，其组合并分离加工腔室和可移动转移腔室。

著录项

公开/公告号CN1929107B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-30

原文格式PDF
申请/专利权人周星工程股份有限公司;
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申请/专利号CN200610128695.7
发明设计人崔宰旭;金映绿;
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申请日2006-09-08
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王允方
地址韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 09:09:41

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-08-27

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20120530 终止日期:20180908 申请日:20060908

专利权的终止
2012-05-30

授权

授权
2012-05-30

授权

授权
2008-11-05

实质审查的生效

实质审查的生效
2008-11-05

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-03-14

公开

公开
2007-03-14

公开

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外文文献

1. 可移动转移腔室和包括可移动转移腔室的衬底处理装置 [P] . 中国专利： CN1929107B . 2012.05.30
2. 可移动转移腔室和包含可移动转移腔室的衬底处理设备 [P] . 中国专利： CN101090085B . 2011.09.14
3. Dynamic coating of substrates with doped layers of silicon and/or germanium in vacuum coating chamber, comprises transferring the substrate into the chamber by transport system and over evaporation source with the coating material [P] . 德国专利： DE102007043943A1 . 2009-04-02

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机译：泵装置包括布置在另一腔室中的腔室，该另一腔室填充有液体，使得当液体上升时，另一腔室在液体表面上移动到该腔室中