具有高空间分辨力的乘积共焦扫描检测方法

摘要

本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨率的乘积共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦双接收光路布置中双偏置探测器的离焦信号相乘形成乘积共焦信号，对被测样品进行测量、成像，通过两个偏置信号的乘积同时提高共焦显微探测方法的纵向和横向分辨力，从而实现乘积共焦方法的高空间分辨力检测。该方法还可以结合光学超分辨共焦检测方法，进一步提高空间分辨力。该方法可以满足高空间分辨力、高精度测量成像要求，特别适用于表面三维微细结构、微台阶、线宽、表面形貌等的测量以及高精度的生物成像检测等。