为声能源供电的系统和方法及其在基板处理中的使用

摘要

一种为声能源供电的系统和方法，它能使处理过程中对基板器件的损伤最少，同时提高处理效率和/或效果。该系统和方法利用这样的原理：使驱动声能源的电信号的振幅斜变和/或频率改变，由此导致作用于基板的结果所得的声能的振幅和频率的相应斜变和/或改变。一种用声能处理基板的方法包括：a)将至少一块基板支承在处理腔内；b)产生一基带电信号；c)将基带电信号传送至放大器，该放大器将基带电信号转换成具有峰值振幅的输出电信号；d)将输出电信号传送至换能器，该换能器将输出电信号转换成相应的声能；e)将声能作用于支承在处理腔内的该至少一块基板；以及f)使输出电信号的峰值振幅斜变。