1152nm波长氦氖激光器纳米测尺

摘要

1152nm波长氦氖激光器纳米测尺，属于基于激光位移传感技术领域，其特征在于使用1152nm波长氦氖激光器替换原632.8nm波长氦氖激光器作为纳米测尺的核心，在保持10nm分辨率不变的条件下，使位移测量范围从50mm增加至100mm以上。1152nm波长氦氖激光器具有较高的增益，所以激光器内腔暴露在空气中时，仍能保持增益大于损耗，可实现增益管与靶镜相分离的非接触测量。采用猫眼逆向器作为靶镜与被测目标粘合，设计全外腔和半外腔两种结构，使系统具有较强的稳定性，从而成为一个稳定实用的位移传感器。