作为对准标记的二进制正弦子波长格栅

摘要

本发明涉及作为对准标记的二进制正弦子波长格栅，更具体地说涉及用于衬底上的对准标记，所述对准标记包括周期的2维阵列结构，所述结构的间隔小于对准束但是大于曝光束，以及所述结构的宽度从阵列的一端正弦地变化到另一端。