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制造金属微结构的方法和通过该方法获得的微结构

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摘要

本发明涉及制造金属微结构的方法和通过该方法获得的微结构，该方法的特征在于包括下述步骤：通过LIGA-UV型方法形成光敏树脂模，并均匀地电沉积第一金属的层，然后均匀地电沉积第二金属的层，以形成大致达到光敏树脂顶部表面的块体。

1. 制造金属微结构的方法和通过该方法获得的微结构 [P] . 中国专利： CN101918617B . 2012.05.02
2. 三维微结构、具有至少两个三维微结构的装置、用于制造所述微结构的方法和所述微结构的应用 [P] . 中国专利： CN102510834B . 2016.10.12
3. METHOD OF FABRICATING A METALLIC MICROSTRUCTURE AND MICROSTRUCTURE OBTAINED VIA THE METHOD [P] . IN291504B . 2018-01-12

机译：制造金属微结构的方法和通过该方法获得的微结构
4. Method of fabricating a metallic microstructure and microstructure obtained via the method [P] . 美国专利： US8557506B2 . 2013-10-15

机译：金属微结构的制造方法以及通过该方法获得的微结构
5. A method of manufacturing a metal microstructure and microstructure obtained using this method. [P] . 瑞士专利： CH704572B1 . 2012-09-14

机译：一种金属微结构的制造方法，以及使用该方法获得的微结构。