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单台面串联平面PN结芯片及其制造方法

摘要

本发明公开了一种单台面串联平面PN结芯片及其制作方法。该PN结芯片包括硅基片及直接或间接制作于其上的串联平面PN结,在两个PN结的边缘设有单台面,在台面侧壁还覆盖有玻璃或CVD沉积膜或其他钝化材料。其制作方法包括:在硅基片上形成串联平面PN结;形成单台面,使串联平面PN结均暴露在单台面侧壁;在单台面侧壁形成钝化层,使PN结与外界隔离;完成表面金属化。

著录项

  • 公开/公告号CN101719507B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-04-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 绍兴科盛电子有限公司;

    申请/专利号CN200910153023.5

  • 发明设计人 王海滨;邓爱民;保爱林;

    申请日2009-09-28

  • 分类号H01L29/73(20060101);H01L21/331(20060101);H01L21/306(20060101);

  • 代理机构33235 杭州华知专利事务所;

  • 代理人宁冈

  • 地址 312000 浙江省绍兴市舜江路683号科创大厦(2301-2306)

  • 入库时间 2022-08-23 09:09:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-09

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/73 登记生效日:20181023 变更前: 变更后: 申请日:20090928

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-04-25

    授权

    授权

  • 2012-04-25

    授权

    授权

  • 2010-07-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/73 申请日:20090928

    实质审查的生效

  • 2010-07-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/73 申请日:20090928

    实质审查的生效

  • 2010-06-02

    公开

    公开

  • 2010-06-02

    公开

    公开

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