法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-05-16
授权
授权
2010-11-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G03B 39/00 申请日:20100507
实质审查的生效
2010-09-22
公开
公开
机译: 用于夹持工具,工具夹持器或工件夹持器的楔形夹持元件包括夹持螺栓,夹持螺栓具有成角度的夹持表面,该成角度的夹持表面相对于其轴线倾斜第一角度,而有效表面相对于其轴线倾斜第二较小角度。
机译: 扁平邮件的竖立装置,具有相对于水平轴倾斜的最大和最小倾斜角度的竖立表面,其中最小角度大于在运输方向上的最大角度
机译: 光刻中像面倾斜度和基板面倾斜度的确定和校准方法