公开/公告号CN101189714B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-28
原文格式PDF
申请/专利权人 桑迪士克3D公司;
申请/专利号CN200680015585.8
发明设计人 克里斯托弗·J·佩蒂;
申请日2006-03-21
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘国伟
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:09:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-14
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/768 变更前: 变更后: 申请日:20060321
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-06-22
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/768 登记生效日:20160603 变更前: 变更后: 申请日:20060321
专利申请权、专利权的转移
2012-03-28
授权
授权
2008-07-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-28
公开
公开
机译: 在基板上产生导电触点的步骤包括在基板上形成条以在条之间形成沟槽,沉积电介质层,选择性地蚀刻电介质层并进一步处理
机译: 用于电气设备的电气开关装置,具有导电部件,每个导电部件的末端都有触点,并且电弧板包括两个分开的距离,当触点从闭合状态断开时,距离之和很大
机译: 互连缩放方法,包括在减法蚀刻的第一导电层上形成电介质层,并在电介质层上形成第二导电材料