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垂直发射量子级联激光器结构

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摘要

本发明提供一种垂直发射量子级联激光器结构，包括：一衬底，在该衬底上依次生长有波导层、有源层和接触层；金属光栅层，该金属光栅层位于接触层的上面，并且该金属光栅层具有二级布拉格周期。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-07-02

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 5/183 授权公告日:20120328 终止日期:20130507 申请日:20100507

专利权的终止
2012-03-28

授权

授权
2010-11-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/183 申请日:20100507

实质审查的生效
2010-09-29

公开

公开

1. 垂直发射量子级联激光器结构 [P] . 中国专利： CN101847828B . 2012.03.28
2. 垂直腔面发射量子级联激光器 [P] . 中国专利： CN109412018A . 2019-03-01
3. Active mirror of the quantum cascade laser with surface emission with vertical cavity resonator [P] . PL230902B1 . 2018-12-31

机译：具有垂直腔谐振器的表面发射量子级联激光器的有源镜
4. Active mirror of the quantum cascade laser with surface emission with vertical cavity resonator [P] . PL419983A1 . 2018-07-02

机译：具有垂直腔谐振器的表面发射量子级联激光器的有源镜
5. Quantum wire optical emitter for quantum cascade lasers has semiconductor heterostructure with active layers and second layers at right angle to a side face [P] . 德国专利： DE10324264A1 . 2004-09-23

机译：用于量子级联激光器的量子线光学发射器具有半导体异质结构，其中有源层和第二层与侧面成直角