公开/公告号CN101819141B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201010162316.2
申请日2010-04-28
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:09:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/35 授权公告日:20120425 终止日期:20130428 申请日:20100428
专利权的终止
2012-04-25
授权
授权
2010-10-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/35 申请日:20100428
实质审查的生效
2010-09-01
公开
公开
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