连接到固体用以增强CMP配方的自由基形成活化剂

摘要

一种CMP组合物，其具有：包含水和至少一种氧化性化合物的流体，所述氧化性化合物当与活化剂接触时会产生自由基；和众多的具有表面且包含分布在所述表面上的至少一种活化剂的颗粒，所述活化剂选自Cu、Fe、Mn、Ti的离子或化合物或者它们的混合物，其中至少一部分所述表面包含稳定剂。优选的稳定剂选自B、W、Al和P的无机含氧化合物，例如硼酸盐、钨酸盐、铝酸盐和磷酸盐。活化剂优选是Cu或Fe的离子。出乎意料的是，如果含活化剂颗粒作为浆液悬浮在流体中的话，低至0.2ppm-12ppm的活化剂就有作用。有利的是，包括某些有机酸特别是二羟基烯醇式酸，含量小于约4000ppm。有利的是，活化剂在磨料颗粒包覆上稳定剂后包覆到颗粒上。